Der Untergrundverlauf in den gemessenen Spektren bei der SYXRF besteht aus folgenden Komponenten:
Abbildung 3.3: Molybdänspektrum vor und nach der Untergrundaufbereitung,
aufgenommen bei 2.3 GeV, 22.8 mA, 0.7 mm Al--Absorber, Blende von 50
mal 150 
und 1000 s Meßzeit.
Die gemessenen Röntgenfluoreszenzspektren zeigen, wie in den drei Spektren in Abbildungen 3.2 a, b und c zu sehen ist, gerade im Energiebereich von 3.0 keV bis 10 keV eine Vielzahl von kleinen Linien, verursacht durch Verunreinigungen in den Reinelementproben, die durch die hohe Sensitivität deutlich sichtbar den reinen Untergrundbereich überdecken. Diese Linien müssen für die Bestimmung der Nachweisgrenze in den jeweiligen Reinelementspektren korrigiert werden.
Das bei der Dezemberstrahlzeit aufgenommene Molybdänspektrum ist in der Abbildung 3.3 vor und nach der Aufbereitung des Untergrundes wiedergegeben. Im vorderen Energiebereich des Spektrums wurde die sich nach der Röntgenfluoreszenzauswertung ergebende Untergrundzählrate pro Kanal eingesetzt. Gleichzeitig wurde der gesamte Zählratenverlauf geglättet, um statistische Schwankungen bei der Sensitivitätbestimmung zu minimieren.
Die durch das Reinelement auftretenden charakteristischen RF--Linien wurden nicht herausgefittet, da sie bei einer Messung die Nachweiswahrscheinlichkeit in der jeweiligen Probe entscheidend senken.
Analog wurden die anderen Reinelementspektren aufbereitet.