Die Übereinstimmung der experimentell zur Durchführung der
Röntgenfluoreszenzanalysen verwendeten anregenden SR
mit der bei der Auswertung
nach der FPM berechneten spektralen Verteilung
bestimmt entscheident die Genauigkeit der Methode.
Der Einsatz einer vertikalen Blende zur Strahlkollimation
koppelt die spektrale Verteilung der SR hinter dieser
an die natürliche Strahlungsdivergenz der SR und an die
vertikale Elektronenverteilung und -divergenz im Quellvolumen.
Die Verwendung von Absorbern zur Anpassung der SR
an die Probe und die mit der Analyse verbundene Problemstellung
verschiebt ebenfalls die spektrale Verteilung. Die hieraus
resultierende Veränderung des SR-Spektrums wird
mit Hilfe von totalen Absorptionsquerschnitten für die
in den Absorbern vorhandenen Elemente berechnet.