Die experimentelle Sensitivität der SYXRF hängt von den folgenden Parametern ab, die die absolute Intensität der Bestrahlung auf der Probe verändern:
Das Programm SXNAX erlaubt es nach der FPM aus den gemessenen Linienintensitäten auf die Elementkonzentrationen in der bestrahlten Probe zu schließen [SXN90].
Wird der Hauptteil der anregenden Strahlung in der Probe absorbiert, gibt man von dieser unendlich dicken Probe die prozentuale Konzentration der in der Oberfläche angeregten Elemente an. Ist die Dichte und die Dicke der zu untersuchenden Probe bekannt, können darüber hinaus die absoluten Flächenbelegungsdichten der angeregten Elemente bestimmt werden.