Nachdem in den letzten beiden Kapiteln die Grundlagen der SYXRF und der TXRF
erläutert wurden, erfolgt in diesem Kapitel die Beschreibung der Experimente,
die im Rahmen dieser Arbeit zur Durchführung kamen.
Es wurde versucht, die in Kapitel 2 bereits erläuterten Vorteile der Anregung
durch Synchrotronstrahlung mit der Totalreflexion zu verbinden. Zum einen wird
durch die Polarisation der Strahlung der Streuuntergrund
in der Ringebene unterdrückt [Wob95]. Zum anderen bieten
die hohe Intensität und die geringe natürliche Divergenz ideale
Voraussetzungen für die Anregung mit streifenden Einfall [Str94] [Goh91].
Im Gegensatz zu anderen TXRF Experimenten
mit Synchrotronstrahlung [Iid86] [Rie95] wurde mit polychromatischer
Strahlung angeregt, wobei aber teilweise mit einem Röntgenspiegel der
höherenergetische Teil des Spektrums abgeschnitten wurde.
Sämtliche Messungen fanden am SYXRF Meßaufbau statt, der in Kapitel 2
beschrieben wurde. Es wurden einige Änderungen vorgenommen, die im folgenden
erläutert werden. Im Anschluß wird die Nachweiswahrscheinlichkeit des
Fluoreszenzdetektors bei streifendem Einfall der anregenden Strahlung
abgeschätzt. Hiernach wird die Totalreflexion an einem Siliziumwafer, der als
Röntgenspiegel benutzt wurde, beschrieben und dessen Eignung als
Tiefpaßfilter bewertet. Als erste Fluoreszenzmessung bei streifendem Einfall
wird die Messung an einem dreischichtigen Wafer vorgestellt, wobei anhand der
Winkelabhängigkeiten der relativen Fluoreszenzintensitäten die Schichtdicken
abgeschätzt werden. Für die eigentlichen TXRF Messungen sind
verschiedene Objektträgeraterialien getestet worden. Zum Einsatz kamen
schließlich
reine Quarzwafer. Mit diesen Objektträgern wurden verschiedene Proben
untersucht. Am Schluß des Kapitels erfolgt die Vorstellung einiger
Meßergebnisse.